灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、级限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。

①灵敏度及其校准

氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的较小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于较佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的*小漏孔漏率。所谓“*佳工作条件”是指仪器参数调整到*佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“*小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的波动量。

②反应时间、清除时间及其测定

反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零（或补偿到零）时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的时间，记为τR。

清除时间是指输出仪表讯号稳定到值后，停止送氦，其讯号下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的时间，记为τC。

③工作真空、级限真空及入口处抽速

质谱室级限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的级限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。

(1)便携性:许多氦质谱检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，为野外作业和高空作业提供了很大的便利。

(2)高压强下检漏:检漏口的压力可高达数百帕，对于检测大系统和泄漏工件非常有用。

(3)高度自动化：氦峰自动标定，零点自动调整，量程自动转换，数据自动处理，可外接打印机。全机由微电脑控制，具有选菜功能，一键完成全检漏过程。

(4)完全无油的干式检漏:一些地方生产的检漏仪可以采用干式泵，达到无油蒸汽的效果，为无油系统、晶片等半导体器件的检漏提供了有利条件。